Функционально-ориентированное сканирование - Feature-oriented scanning
Функционально-ориентированное сканирование (FOS) - это метод точного измерения топографии поверхности с сканирующий зондовый микроскоп в которых поверхностные элементы (объекты) используются в качестве опорных точек для крепления зонда микроскопа. С помощью метода FOS, переходя от одного поверхностного объекта к другому, расположенному поблизости, измеряется относительное расстояние между объектами и топографиями окрестностей объекта. Такой подход позволяет сканировать заданный участок поверхности по частям, а затем восстанавливать изображение целиком по полученным фрагментам. Помимо упомянутого, для метода допустимо использовать другое название - объектно-ориентированное сканирование (ООС).
Топография
Любой элемент рельефа, в широком смысле похожий на холм или котлован, может рассматриваться как элемент поверхности. Примеры поверхностных элементов (объектов): атомы, пустоты, молекулы, зерна, наночастицы, кластеры, кристаллиты, квантовые точки, наноостровки, столбы, поры, короткие нанопровода, короткие наностержни, короткие нанотрубки, вирусы, бактерии, органеллы, клетки, так далее.
FOS предназначен для высокоточного измерения топографии поверхности (см. Рис.), А также других свойств и характеристик поверхности. Более того, по сравнению с обычным сканированием, FOS позволяет получить более высокое пространственное разрешение. Благодаря ряду технологий, встроенных в FOS, искажения, вызванные тепловым дрейфом и ползет практически исключены.
Приложения
FOS имеет следующие области применения: поверхность метрология, точное позиционирование зонда, автоматическая характеристика поверхности, автоматическая модификация / стимуляция поверхности, автоматическое манипулирование нанообъектами, нанотехнологические процессы сборки «снизу вверх», согласованное управление аналитическими и технологическими зондами в многозондовых приборах, управление атомно-молекулярные ассемблеры, управление зондом нанолитографии, так далее.
Смотрите также
Рекомендации
1. Лапшин Р.В. (2004). «Методология объектно-ориентированного сканирования для зондовой микроскопии и нанотехнологий» (PDF). Нанотехнологии. Великобритания: ВГД. 15 (9): 1135–1151. Bibcode:2004Нанот..15.1135Л. Дои:10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN 0957-4484. (Русский перевод доступен).
2. Лапшин Р.В. (2007). «Автоматическое устранение дрейфа в изображениях зондового микроскопа на основе методов встречного сканирования и распознавания элементов топографии» (PDF). Измерительная наука и технология. Великобритания: ВГД. 18 (3): 907–927. Bibcode:2007MeScT..18..907L. Дои:10.1088/0957-0233/18/3/046. ISSN 0957-0233. (Русский перевод доступен).
3. Лапшин Р.В. (2011). «Функциональная сканирующая зондовая микроскопия» (PDF). В Х. С. Налва (ред.). Энциклопедия нанонауки и нанотехнологий. 14. США: Американские научные издательства. С. 105–115. ISBN 978-1-58883-163-7.
4. Р. Лапшин (2014). «Функционально-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, восходящие нанотехнологии». Электроника: наука, технологии, бизнес. Российская Федерация: Издательство Техносфера (Спецвыпуск «50 лет Институту Физических Проблем»): 94–106. ISSN 1992-4178. (на русском).
5. Лапшин Р.В. (2015). «Нечувствительная к дрейфу распределенная калибровка сканера зондового микроскопа в нанометровом диапазоне: Описание подхода» (PDF). Прикладная наука о поверхности. Нидерланды: Elsevier B. V. 359: 629–636. arXiv:1501.05545. Bibcode:2015ApSS..359..629L. Дои:10.1016 / j.apsusc.2015.10.108. ISSN 0169-4332. S2CID 118434225.
6. Лапшин Р.В. (2016). «Нечувствительная к дрейфу распределенная калибровка сканера зондового микроскопа в нанометровом диапазоне: Виртуальный режим» (PDF). Прикладная наука о поверхности. Нидерланды: Elsevier B. V. 378: 530–539. arXiv:1501.05726. Bibcode:2016ApSS..378..530L. Дои:10.1016 / j.apsusc.2016.03.201. ISSN 0169-4332. S2CID 119191299.
7. Лапшин Р.В. (2019). «Нечувствительная к дрейфу распределенная калибровка сканера зондового микроскопа в нанометровом диапазоне: Реальный режим». Прикладная наука о поверхности. Нидерланды: Elsevier B. V. 470: 1122–1129. arXiv:1501.06679. Bibcode:2019ApSS..470.1122L. Дои:10.1016 / j.apsusc.2018.10.149. ISSN 0169-4332. S2CID 119275633.
8. Лапшин Р.В. (2009). «Доступность функционально-ориентированной сканирующей зондовой микроскопии для дистанционных измерений на борту космической лаборатории или марсохода для исследования планет» (PDF). Астробиология. США: Мэри Энн Либерт. 9 (5): 437–442. Bibcode:2009AsBio ... 9..437л. Дои:10.1089 / ast.2007.0173. ISSN 1531-1074. PMID 19566423.
9. Лапшин Р.В. (2014). «Наблюдение гексагональной сверхструктуры на пиролитическом графите методом точечной сканирующей туннельной микроскопии» (PDF). Материалы 25-й Российской конференции по электронной микроскопии (СЭМ-2014) (на русском). 1. 2–6 июня, Черноголовка, Россия: Российская академия наук. С. 316–317. ISBN 978-5-89589-068-4.CS1 maint: location (связь)
10. Д. В. Поль, Р. Мёллер (1988). ""Отслеживающая «туннельная микроскопия». Обзор научных инструментов. США: AIP Publishing. 59 (6): 840–842. Bibcode:1988RScI ... 59..840P. Дои:10.1063/1.1139790. ISSN 0034-6748.
11. Б. С. Шварцентрубер (1996). «Прямое измерение поверхностной диффузии с помощью сканирующей туннельной микроскопии с отслеживанием атомов». Письма с физическими проверками. США: Американское физическое общество. 76 (3): 459–462. Bibcode:1996ПхРвЛ..76..459С. Дои:10.1103 / PhysRevLett.76.459. ISSN 0031-9007. PMID 10061462.
12. С. Б. Андерссон, Д. Ю. Абрамович (2007). «Обзор нерастровых методов сканирования применительно к атомно-силовой микроскопии». Труды Американской конференции по контролю (ACC '07). 9–13 июля, Нью-Йорк, США: IEEE. С. 3516–3521. Дои:10.1109 / ACC.2007.4282301. ISBN 978-1-4244-0988-4.CS1 maint: location (связь)
внешняя ссылка
- Функционально-ориентированное сканирование, Раздел «Исследования», Персональная страница Лапшина по СПМ и нанотехнологиям
