Магнитолитография - Magnetolithography

Магнитолитография (ML) - это метод создания рисунков на поверхности. ML на основе применения магнитное поле на подложку с помощью парамагнитных металлических масок, называемых «магнитные маски». Магнитные маски аналогичны фотомаска в фотолитографии, поскольку они определяют пространственное распределение и форму приложенного магнитного поля. Вторая составляющая процесса: ферромагнитный наночастицы (аналог фоторезист в фотолитографии), которые собираются на подложке в соответствии с полем, индуцированным магнитной маской.

ML можно использовать как для позитивного, так и для негативного подхода. В позитивном подходе магнитные наночастицы вступают в химическую реакцию или взаимодействуют посредством химического распознавания с субстратом. Следовательно, магнитные наночастицы иммобилизуются в выбранных местах, где маска индуцирует магнитное поле, в результате чего получается узорчатая подложка. При отрицательном подходе магнитные наночастицы инертны по отношению к подложке. Следовательно, как только они формируют субстрат, они блокируют свой сайт связывания на субстрате от реакции с другим реагирующим агентом. После адсорбции реагирующего агента наночастицы удаляются, в результате получается субстрат с отрицательным рисунком.

ML - это обратная сторона литография, преимущество которого заключается в простоте изготовления многослойных материалов с высокой точностью совмещения и с одинаковой эффективностью для всех слоев.

Рекомендации

• Бардеа, Амос; Бурштейн, Ноа; Рудич, Йинон; Саламе, Томер; Зив, Кармит; Ярден, Одед; Нааман, Рон (2011-12-15). «Чувствительное обнаружение и идентификация ДНК и РНК с использованием узорчатой ​​капиллярной трубки». Аналитическая химия. Американское химическое общество (ACS). 83 (24): 9418–9423. Дои:10.1021 / ac202480w. ISSN  0003-2700.
• Бардеа, Амос; Нааман, Рон (2010). «Магнитолитография». Достижения в области визуализации и электронной физики. 164. Эльзевир. С. 1–27. Дои:10.1016 / b978-0-12-381312-1.00001-8. ISBN  978-0-12-381312-1. ISSN  1076-5670.
• Кумар, Татиконда Ананд; Бардеа, Амос; Шай, Йехиэль; Иоффе, Александр; Нааман, Рон (09.06.2010). «Формирование градиентных свойств от субмикрометров до миллиметров с помощью магнитолитографии». Нано буквы. Американское химическое общество (ACS). 10 (6): 2262–2267. Дои:10.1021 / nl1013635. ISSN  1530-6984.
• Бардеа, Амос; Барам, Авиад; Татиконда, Ананд Кумар; Нааман, Рон (30 декабря 2009 г.). «Магнитолитографическое моделирование внутренних стенок трубки: новое измерение в микрофлюидике и последовательных микрореакторах». Журнал Американского химического общества. Американское химическое общество (ACS). 131 (51): 18260–18262. Дои:10.1021 / ja908675c. ISSN  0002-7863.
• Бардеа, Амос; Нааман, Рон (19 мая 2009 г.). «Субмикронное химическое формирование рисунка с высокой производительностью с использованием магнитолитографии». Langmuir. Американское химическое общество (ACS). 25 (10): 5451–5454. Дои:10.1021 / la900601w. ISSN  0743-7463.
• Бардеа, Амос; Нааман, Рон (06.02.2009). «Магнитолитография: от восходящего пути к высокой производительности». Маленький. Вайли. 5 (3): 316–319. Дои:10.1002 / smll.200801058. ISSN  1613-6810.