Лазерное химическое осаждение из газовой фазы - Laser chemical vapor deposition

Лазерное химическое осаждение из газовой фазы (LCVD) - это химический процесс, используемый для производства высокочистых высококачественных пленок, волокон и механического оборудования (MEMS). Это форма химическое осаждение из паровой фазы в котором лазерный луч используется для локального нагрева полупроводника субстрат, в результате чего химическая реакция осаждения из паровой фазы в этом месте протекает быстрее.[1] Этот процесс используется в полупроводниковой промышленности для точечного покрытия,[2] индустрии МЭМС для 3-D печать оборудования, такого как пружины и нагревательные элементы,2,6,7,9 и промышленность композитов для бор и керамические волокна.[3][4][5][6][7][8][9] Как и в случае обычного CVD, один или несколько газ предшественники фаз термически разлагаются, и образующиеся химические вещества 1) осаждаются на поверхности или 2) вступают в реакцию, образуя желаемые сложный, а затем нанесите на поверхность, или комбинацию (1) и (2).[10][11][12]

Рекомендации

  1. ^ Аллен, С. (1981-11-01). «Лазерное химическое осаждение из паровой фазы: метод селективного осаждения площадей». Журнал прикладной физики. 52 (11): 6501–6505. Дои:10.1063/1.328600. ISSN  0021-8979.
  2. ^ Способ и устройство для роста трехмерных структур произвольной формы с использованием потоков прекурсоров под давлением и контроля скорости роста (Патент США № 5786023)
  3. ^ Рост волокна с помощью лазера (патент США № 5,126,200)
  4. ^ Т. Валленбергер, Фредерик и К. Нордин, Пол и Боман, Матс. (1994). «Неорганические волокна и микроструктуры непосредственно из паровой фазы». Composites Science and Technology v 51. pp. 193-212.
  5. ^ Т. Валленбергер, Фредерик и К. Нордин, Пол. (1994). «Волокна аморфного нитрида кремния, выращенные из паровой фазы». Journal of Materials Research v 9. С. 527 - 530.
  6. ^ CVD-изготовление и определение характеристик углеродных и вольфрамовых микроструктур для микродвигателей с помощью лазера, Университет Упсалы, 2006, Диссертация, К.Л. Уильямс
  7. ^ Björklund, K.L & Lu, Jun & Heszler, P & Boman, Mats. (2002). «Кинетика, термодинамика и микроструктура вольфрамовых стержней, выращенных методом термического лазерного CVD». Thin Solid Films v 416. pp. 41–48.
  8. ^ Боман, Матс и Бауэрле, Дитер. (1995). «Лазерное химическое осаждение бора из паровой фазы». Журнал Китайского химического общества v 42.
  9. ^ С. Харрисон, Дж. Пенья, Дж. Шнайтер, К.Л. Уильямс и Р. Годугучинта, (2017) «Ленты из керамического волокна с лазерной печатью: свойства и применение», 2016 ICACC Proceedings / Ceramic Materials for Energy Applications VI, pp. 61-72
  10. ^ Максвелл, Джеймс и Чавес, Крейг и В. Спрингер, Роберт и Маскали, Карлин и Гудин, Дэн. (2007). «Получение сверхтвердых волокон BxCy с помощью гипербарического лазерного химического осаждения из газовой фазы в микровихревых потоках», Diamond and Related Materials v 16. pp. 1557-1564.
  11. ^ Уильямс, К. И Йонссон, К и Келер, Йохан и Боман, Матс. (2007). «Электротермические характеристики углеродных микрокатушек с вольфрамовым покрытием для микродвигательных систем». Carbon v 45. pp. 484-492.
  12. ^ Максвелл, Джеймс и Боман, Матс и У Спрингер, Роберт и Нараян, Джайкумар и Гнанавелу, Сайпрасанна. (2006). «Гипербарическое лазерное химическое осаждение из газовой фазы углеродных волокон из 1-алкенов, 1-алкинов и бензола». Журнал Американского химического общества, т. 128, стр. 4405-4413.