Закон Клайберса - Klaibers law
Проще говоря, Закон клайбера предлагает, чтобы "то кремниевая пластина размер будет определять наибольший диаметр сверхчистая вода подводящий трубопровод, необходимый в пределах полупроводниковая пластина фабрика."
Сверхчистая вода (UPW) широко используется на этапах изготовления компьютерных микрочипов.[1] Эти микрочипы изготавливаются на круглых тонких кремниевых подложках, называемых вафля.
С 1990-х годов трубы, фитинги и клапаны, используемые для транспортировки UPW, резко увеличились в диаметре и, следовательно, увеличился поставляемый объем или использование галлонов в минуту. Поливинилиденфторид (PVDF) был предпочтительным материалом для больших трубопроводов для передачи UPW.[2] PVDF также упоминается в ASTM D 5127-07. Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности[3] как необходимый для поддержания высочайшего качества воды.
В начале 1990-х годов наблюдение, сделанное доктором Феликсом Клайбером, с тех пор было названо законом Клайбера.[4] Он осознал, что переход полупроводников от использования кремниевых пластин диаметром от 100 мм до 150 мм (когда самые большие каналы в системах UPW из PVDF имели внешний диаметр всего 110 мм) вскоре сменился потребностью в более крупных трубах из PVDF диаметром 160 мм. Следующий переход к кремниевым пластинам диаметром 200 мм через несколько лет потребовал использования труб из ПВДФ диаметром 225 мм. Совсем недавно переход полупроводников к пластинам диаметром 300 мм потребовал создания еще более крупных систем UPW с трубами диаметром 315 мм.
Начиная с более раннего постулата доктора Клайбера, связь между размером пластины и диаметром трубок из ПВДФ наблюдалась и другими. Без ведома Либмана и др., Во время презентации 2010 г. обсуждалась позиция, идентичная закону Клайбера; что текущий размер труб из ПВДФ высокого давления (высокой чистоты) ограничен 12 дюймами (305 мм) и что исторически размер пластины совпадал с диаметром основных линий.[5] Либман сомневается, сохранится ли эта тенденция в отношении пластин диаметром 450 мм.
Рекомендации
- ^ Burkhart M, Wermelinger J и Klaiber F, "Безопасны ли трубопроводы из поливинилиденфторида для горячей сверхчистой воды?", MICRO, 13 (2): pp 27-31, 1995
- ^ Буркхарт М., Вагнер Г. и Клайбер Ф, «Характеристики выщелачивания поливинилиденфторида и полипропилена», Ультрачистая вода, май / июнь 1997 г .: стр 30-33.
- ^ ASTM International, 100 Barr Harbor Drive, PO Box C700, West Conshohocken, PA 19428-2959
- ^ Вермелингер Дж., Мюллер Х.П. и Буркхарт М., «Новые 450-миллиметровые трубопроводные системы из ПВДФ для транспортировки высокочистой воды на полупроводниковых заводах», Сверхчистая вода, июль 2011 г .: стр. 15-19.
- ^ Либман С., Буссер Д. и Экберг Б. «Следующее поколение распределительной системы UPW для следующего поколения полупроводниковых фабрик»